강의계획서
| 교과목코드 | DF161759 | 교과목명 | 박막공정 |
|---|---|---|---|
| 강의학과 | 신소재공학과 | 교수 | 김동훈 |
| 교수소속 | 신소재공학과 | 이수학년 | |
| 과목구분 | 과정구분 | 석·박사공통 | |
| 이메일 | dhkim@mju.ac.kr | 전화번호 |
| 주차 | 주제 |
|---|---|
| 1주차 | 강의 소개 |
| 2주차 | 박막 기초, 진공 |
| 3주차 | 물리기상증착 |
| 4주차 | 플라즈마, 스퍼터링 |
| 5주차 | 화학기상증착 |
| 6주차 | ALD |
| 7주차 | ALD |
| 8주차 | 중간고사 |
| 9주차 | 박막 분석법 – XRD, SEM, TEM |
| 10주차 | 박막 분석법 - 분광법, 조성 분석법 |
| 11주차 | 연구발표 |
| 12주차 | 연구발표 |
| 13주차 | 연구발표 |
| 14주차 | 연구발표 |
| 15주차 | 기말고사 |
| 16주차 | 기말고사 |